電子級氫氟酸

產品名稱：電子級氫氟酸

產品用途：主要用于集成電路工業中芯片清洗與腐蝕，是微電子技術加工過程中不可缺少的關鍵化學品之一；也用于液晶顯示器（TFT-LCD）行業中對玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蝕刻；還用于太陽能電池行業硅表面清洗、蝕刻。

包裝規格：1000L IBC集裝桶；200L桶；20L桶；5L加侖桶

包裝儲運要求：運輸過程中避免撞擊，防止陽光直射，儲存于陰涼、通風倉庫，保持容器密封。

物理性質: ：為無色透明液體，呈弱酸性，有強烈的刺激性氣味，強腐蝕。濃度50%的氫氟酸密度為1.157g/ml,在大氣壓下沸點為107℃，冰點為-46.3℃，常溫下比熱3.1J/g. ℃ ,18℃時，當量電導率為17.32Ω-1cm-1。與金屬鹽、氧化物和氫氧化物作用產生氟化鹽，能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態的四氟化硅。
產品指標：

級別		UP-S級	UP級	EL級
項目 ITEM	單位UNIT	指標	指標	指標
含量ASSAY	%	49%±0.5	49%±0.5	49%±0.5
氟硅酸(H2SIF6)	mg/l	≤100	≤100	≤100
氯化物(CL)	mg/l	≤5	≤5	≤5
硝酸鹽(NO3)	mg/l	≤3	≤3	≤3
磷酸鹽(PO4)	mg/l	≤1	≤1	≤1
硫酸鹽和亞硫酸鹽	mg/l	≤5	≤5	≤5
色度 COLOR	HAZEN	≤10	≤10	≤10
顆粒(≥1.0μm)	Ea/ml	≤10	≤10	≤25
鋰 Li	PPB	≤1	≤10	≤20
鈉 Na	PPB	≤1	≤10	≤100
鎂 Mg	PPB	≤1	≤10	≤100
鋁 Al	PPB	≤1	≤10	≤100
鉀 K	PPB	≤1	≤10	≤100
鈣 Ca	PPB	≤1	≤10	≤100
鉻 Cr	PPB	≤1	≤10	≤20
鐵 Fe	PPB	≤1	≤10	≤100
鈷 Co	PPB	≤1	≤10	≤20
鎳 Ni	PPB	≤1	≤10	≤50
銅 Cu	PPB	≤1	≤10	≤20
鋅 Zn	PPB	≤1	≤10	≤50
鎵 Ga	PPB	≤1	≤10	≤20
鉬 Mo	PPB	≤1	≤10	≤100
銀 Ag	PPB	≤1	≤10	≤20
鎘 Cd	PPB	≤1	≤10	≤50
錫 Sn	PPB	≤1	≤10	≤20
鋇 Ba	PPB	≤1	≤10	≤100
鉑 Pt	PPB	≤1	≤10	≤100
金 Au	PPB	≤1	≤10	≤20
錳 Mn	PPB	≤1	≤10	≤20
鉛 Pb	PPB	≤1	≤10	≤50
鉈 Ti	PPB	≤1	≤10	≤10

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